等离子体加工光学元件工艺研究

1.西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西,西安,710032

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Super Smooth Surface Fabrication Processes-plasma Etching

为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件,引入一种新型的超光滑表面加工技术--等离子体抛光.介绍了有关等离子体刻蚀的研究进展以及去除机理,在已经设计好的实验平台上进行等离子体加工工艺实验,对影响去除效果的参数进行了实验研究,最后进行工艺参数优化.结果表明此技术能够应用于对光学元件的加工.

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