为研究过硫酸盐/硫酸体系微蚀的最佳工艺条件,通过静态腐蚀速率测定法,对该体系的微蚀液组成和操作温度等微蚀条件进行了研究,实验结果表明最佳的微蚀条件为:温度26～32%,铜离子质量浓度9～15g/L,过硫酸钠质量浓度75～125g/L,硫酸的体积分数为2%～4%,该条件下微蚀速率为0.5μm/min,过程稳定可控.
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