采用射频磁控溅射法在石英玻璃和不锈钢基底上沉积SiNx薄膜,以SEM和AFM观察薄膜的表面形貌,检测粗糙度和颗粒度大小对薄膜表面形貌动态演化进行量化表征.结果表明:石英玻璃基片SiNx薄膜较不锈钢基片薄膜更为均匀致密,且颗粒更为细小；真空退火处理有利于细化SiNx薄膜颗粒,减小其表面粗糙度；在溅射功率为125～175W范围内,SiNx薄膜颗粒平均直径高达41.0 nm,其rms以及颗粒度在75W时受氩气溅射压强的影响大.
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