综述了铜合金化学抛光的应用现状,硝酸及硝酸盐体系、过氧化氢体系抛光液中各组分的作用,存在的问题及其解决方案.指出目前铜合金化学抛光工艺存在的溶液稳定性和环境污染问题,通过对铜合金不同化学抛光工艺的分析,探讨了绿色环保型铜合金化学抛光工艺是今后的发展万向.
参考文献
[1] | 邱佐群.铜件无黄烟化学抛光[J].电镀与精饰,2004(05):18-19. |
[2] | 吴祖昌;谭明辉;王瑰美.铜及铜合金零件无黄烟光亮酸洗工艺研究与应用[J].表面技术,2001(3):9-11. |
[3] | 郭贤烙;肖鑫;易翔;钟萍.铜及铜合金化学抛光及钝化的研究[J].表面技术,2001(2):35-36,39. |
[4] | 方景礼.金属的化学抛光技术第三部分铜及铜合金制件的化学抛光[J].电镀与涂饰,2005(10):36-41. |
[5] | 井涛;张忠诚;李广武;赵芳.弱碱性条件下紫铜化学抛光新工艺[J].腐蚀科学与防护技术,2007(5):367-370. |
[6] | 彭荣华;李国斌;马凇江.铜及其合金化学抛光工艺研究[J].材料保护,2005(6):30-32. |
[7] | 颜宝锋;上官小红.铜合金化学抛光技术的研究[J].表面技术,2006(3):57-58,66. |
[8] | 储荣邦.铜及其合金的无黄烟光亮酸洗工艺[J].材料保护,2003(08):64-66. |
[9] | 李珊;郭瑞光.铜合金三酸抛光微观效果研究[J].世界科技研究与发展,2012(2):229-232. |
[10] | 张伟;路新春;刘宇宏;雒建斌.缓蚀剂在铜化学机械抛光过程中的作用研究[J].摩擦学学报,2007(5):401-405. |
[11] | 吕雪飞;李淑英.环保型铜及其合金化学抛光与钝化新工艺[J].材料保护,2006(9):25-27. |
[12] | 郑建美;张艳;张琳.不同浓度金属离子对过氧乙酸分解速度的影响[J].化学工程与装备,2008(11):26-30. |
[13] | 黄俊学;张晖;杨锦瑜.绿色环保型BFe10-1-1铁白铜化学抛光工艺研究[J].表面技术,2011(5):80-84. |
[14] | 孙峰;谢传欣;张帆;金满平;王振刚.pH值对双氧水绝热分解特性的影响[J].化学工程,2012(2):42-45. |
[15] | 何叶丽.双氧水用稳定剂[J].印染,2005(21):45-47. |
[16] | 王佩军,赵渤.双氧水稳定剂的发展与应用[C].传化杯第七届全国染整前处理学术研讨会论文集,2007:383-387. |
[17] | 杨俊玲.双氧水稳定剂的组成及其稳定性的研究[J].印染,2004(24):13-15. |
[18] | 肖鑫.环保型铜及铜合金化学抛光[J].电镀与环保,2004(01):31-32. |
[19] | 马晓春;楼程华.铜合金光亮化学抛光新工艺[J].材料保护,1999(6):35. |
[20] | 周长虹;王宗雄.环保型铜化学抛光剂的开发[J].电镀与环保,2000(6):22-23. |
[21] | 王士磊.环保型铜及铜合金化学抛光与钝化新工艺[J].电镀与环保,2003(04):24-26. |
[22] | 张婕;梁成浩;王鹏;郭承忠.铜及其合金的化学抛光工艺研究[J].表面技术,2006(6):43-45. |
[23] | 农兰平;李金莲;巩育军.铜及铜合金不同化学抛光工艺研究[J].电镀与涂饰,2011(8):40-44. |
[24] | 石磊;王士磊;吴笛.环保型铜及铜合金化学抛光与钝化工艺[J].材料保护,2003(9):54-55. |
[25] | CM. Coetsier;F. Testa;E. Carretier;M. Ennahali;B. Laborie;C. Mouton-amaud;O. Fluchere;P. Moulin.Static dissolution rate of tungsten film versus chemical adjustments of a reused slurry for chemical mechanical polishing[J].Applied Surface Science: A Journal Devoted to the Properties of Interfaces in Relation to the Synthesis and Behaviour of Materials,201114(14):6163-6170. |
[26] | S. Kim;N. Saka;J. H. Chun;S. H. Shin.Modeling and mitigation of pad scratching in chemical-mechanical polishing[J].CIRP Annals,20131 CD/ROM(1 CD/ROM):307-310. |
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