W/Mo超晶格薄膜的微结构研究

1.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030

2.中科院上海冶金研究所,上海,200050

3.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030

4.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030

5.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030

6.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030

A Study on the Microstructure of W/Mo Superlattice Thin Films

纳米多层膜因常出现物理或力学性能的异常而成为薄膜研究的热点之一.采用XRD和TEM技术研究了W/Mo纳米多层膜微结构.结果表明,W和Mo由于同为体心立方结构,且晶格常数相近,由它们交互重叠形成的纳米多层膜具有柱状晶穿过调制界面外延生长的结构特征,形成多晶超晶格结构.

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