TiO2纳米薄膜的制备及其紫外-可见光谱研究

材料工程, 2008, (10): 261-264. doi: 10.3969/j.issn.1001-4381.2008.10.066

TiO2纳米薄膜的制备及其紫外-可见光谱研究

杜雯 ^1, , 冶银平 ^2, , 李红轩 ^3, , 崔海霞 ^4,

1.中国科学院,兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,兰州,730000;中国科学院研究生院,北京100049

2.中国科学院,兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,兰州,730000

3.中国科学院,兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,兰州,730000

4.中国科学院,兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,兰州,730000

基金项目: 国家自然科学基金(50575217;50705093)

关键词：磁控溅射 , TiO2纳米薄膜 , 紫外-可见光谱 , 禁带宽度

Preparation of Anatase TiO2 Nanofilm by Magnetron Sputtering and Their UV-vis Spectrum Analysis

用磁控溅射技术在普通载玻片上制备了不同厚度透明的锐钛矿相二氧化钛(TiO2)纳米薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)等分析方法对试样进行表征,并测试了其紫外-可见透射光谱,计算了此薄膜的禁带宽度,其值接近TiO2禁带宽度的理论值3.2eV.

参考文献

[1]	WANG R;HASHIMOTO K;FUJISHIMA A et al.Light-induced amphiphilie surfaces[J].Nature,1997,388:431-432.
[2]	巴德纯,常学森,闻立时,刘坤.磁控溅射TiO2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究[J].真空科学与技术学报,2007(02):155-158.
[3]	GAO Y;MAsUDA Y;KOUMOTO K .Light-excited superhydrophilidty of amorphous TiO2 thin films deposited in an aqueous peroxotitanate solution[J].Langmuir,2004,20:3188-3194.
[4]	SONAWANE R;HEGDE S;DONGARE M .Preparations of titanium(Ⅳ)oxide thin film photocatalyst by solgel dip coating[J].Materials Chemistry and Physics,2003,77:744-750.
[5]	RANDENIYA L;BENDAVID A;MARTIN P et al.Photoelectrochemical and structural properties of TiO2 and N-doped TiO2 thin films synthesized using pulsed direct current plasma-activated chemical vapor deposition[J].Journal of Physical Chemistry C,2007,111:18334-18340.
[6]	王明利;龚辉;范正修 .磁控溅射沉积宽带减反膜[J].科学通报,1997,42:1381-1383.
[7]	Zhang XT;Jin M;Liu ZY;Nishimoto S;Saito H;Murakami T;Fujishima A .Preparation and photocatalytic wettability conversion of TiO2-based superhydrophobic surfaces[J].Langmuir: The ACS Journal of Surfaces and Colloids,2006(23):9477-9479.
[8]	Denison KR;Boxall C .Photoinduced "stick-slip" on superhydrophilic semiconductor surfaces[J].Langmuir: The ACS Journal of Surfaces and Colloids,2007(8):4358-4366.
[9]	Lee HY.;Ko KH.;Park YH. .Correlation between surface morphology and hydrophilic/hydrophobic conversion of MOCVD-TiO2 films[J].Langmuir: The ACS Journal of Surfaces and Colloids,2000(18):7289-7293.
[10]	肖循.纳米TiO2薄膜紫外-可见透射光谱研究[J].湖北民族学院学报（自然科学版）,2005(03):246-248.
[11]	邹丽娜 .纳米孔二氧化钛超薄薄膜的制备方法和减反特性[D].长春:吉林大学,2004.
[12]	杨宏,王鹤,于化丛,奚建平,胡宏勋,陈光德.常压化学汽相沉积TiOx纳米光学薄膜及其用于太阳电池减反射膜的研究[J].太阳能学报,2002(04):437-440.
[13]	常学森,巴德纯,闻立时,刘坤.磁控反应溅射氧流量变化对TiO2薄膜影响的实验研究[J].真空与低温,2007(03):163-167.
[14]	H. Ogawa;T. Higuchi;A. Nakamura .Growth of TiO_2 thin film by reactive RF magnetron sputtering using oxygen radical[J].Journal of Alloys and Compounds: An Interdisciplinary Journal of Materials Science and Solid-state Chemistry and Physics,2008(1/2):375-378.

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