氨气还原氮化法制备TiN薄膜及其SERS效应研究

功能材料, 2016, 47(2): 2197-2200. doi: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.02.039

氨气还原氮化法制备TiN薄膜及其SERS效应研究

陈颖 ^1, , 魏恒勇 ^2, , 董占亮 ^3, , 卜景龙 ^4, , 王瑞生 ^5, , 魏颖娜 ^6, , 林健 ^7,

1.华北理工大学材料科学与工程学院,分析测试中心,河北省无机非金属材料重点实验室,河北唐山063009

2.华北理工大学材料科学与工程学院,分析测试中心,河北省无机非金属材料重点实验室,河北唐山063009;同济大学材料科学与工程学院,上海200092

3.华北理工大学材料科学与工程学院,分析测试中心,河北省无机非金属材料重点实验室,河北唐山063009

4.华北理工大学材料科学与工程学院,分析测试中心,河北省无机非金属材料重点实验室,河北唐山063009

5.华北理工大学材料科学与工程学院,分析测试中心,河北省无机非金属材料重点实验室,河北唐山063009

6.华北理工大学材料科学与工程学院,分析测试中心,河北省无机非金属材料重点实验室,河北唐山063009

7.同济大学材料科学与工程学院,上海,200092

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(51272066) 华北理工大学科学研究基金资助项目(Z201405) 河北省自然科学基金资助项目(E2013209183)

关键词： TiN , 薄膜 , SERS

Preparation of TiN films via ammonia reduction nitridation process and their SERS effect

Keywords： TiN , SERS , thin films

以四氯化钛乙醇溶液为钛源,采用氨气还原氮化法成功制备了TiN薄膜,利用XRD、RAMAN、FE-SEM、TEM、SAED及UV-VIS-NIR表征薄膜结构及光学性能.结果表明,TiN薄膜为NaCl型面心立方TiN晶体,膜厚在250 nm左右.UV-VIS-NIR分析显示TiN薄膜在500 nm附近出现了特征表面等离子体共振吸收峰.利用R6G作为探针分子研究了TiN薄膜拉曼增强效应,结果发现,TiN薄膜具有显著的拉曼增强效应,与空白石英基片相比,TiN薄膜对R6G增强因子为6.08×103,检出限为10-6 mol/L.

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