电沉积法制备ZrO2薄膜的工艺研究

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基金项目: 云南省教育厅资助项目(0112083)

Fabrication Process of ZrO2 Film by Electrodeposition

研究了水溶液中电沉积ZrO2薄膜的工艺,系统分析了镀液成分、pH值、电流密度及沉积时间对电沉积ZrO2薄膜的影响规律,并分析了薄膜的厚度、成分和形貌等.研究结果表明,在硝酸锆水溶液中加入一定量的络合剂和添加剂,可以得到与基体结合好、分布均匀的ZrO2薄膜.

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