概述了透明导电薄膜的分类及ITO薄膜的基本性质,综述了用于制备ITO薄膜的磁控溅射法、真空蒸发法、溶胶.凝胶法、喷雾热解法、化学气相沉积法,论述了不同制备方法的优缺点.最后,介绍了ITO薄膜的应用现状,并对ITO薄膜的发展趋势进行了展望.
参考文献
[1] | 姜辛;张超;洪瑞江;戴达煌.透明导电氧化物薄膜[M].北京:高等教育出版社,2008:2-3. |
[2] | 王树林 .ITO薄膜的制备及性能研究[D].武汉:武汉理工大学,2004. |
[3] | 李世涛 .透明导电ITO及其复合薄膜的研究[D].华中科技大学,2006. |
[4] | 王树林,夏冬林.ITO薄膜的制备工艺及进展[J].玻璃与搪瓷,2004(05):51-54. |
[5] | 茅昕辉;陈国平;陈公乃 等.直流磁控反应溅射沉积ITO透明导电膜的研究[J].光电子技术,1995,15(01):72-77. |
[6] | 张树高,黄伯云,方勋华.ITO导电薄膜的用途和制备方法[J].粉末冶金材料科学与工程,1997(01):28-31. |
[7] | 赵俊卿,马瑾,李淑英,马洪磊.有机薄膜衬底ITO透明导电膜的结构和光电特性[J].半导体学报,1998(10):752. |
[8] | 李晶 .ITO透明导电薄膜的溶胶凝胶制备及工艺研究[D].长沙:中南大学,2004. |
[9] | 沈军,王珏,吴广明,倪星元,周斌,陈玲燕.化学法制备光学薄膜及其应用[J].原子能科学技术,2002(04):305-308. |
[10] | 秦利平 .溶剂热法制备ITO(铟锡复合氧化物)纳米粉体及其性能研究[D].中南大学,2007. |
[11] | 张聚宝,翁文剑,杜丕一,赵高凌,张溪文,沈鸽,韩高荣.喷雾热分解法玻璃镀膜[J].玻璃与搪瓷,2002(02):46-50. |
[12] | Toshiro Maruyama;Kunihiro Fukui .Indium tin oxide thin films prepared by chemical vapor deposition[J].Thin Solid Films,1991,203(02):297-302. |
[13] | 职利 .ITO薄膜的水热法制备与性能研究[D].桂林电子科技大学,2006. |
[14] | 钟毅;王达键;刘荣佩 等.铟锡氧化物(ITO)靶材的应用和制备技术[J].昆明理工大学学报,1997,22(01):66-70. |
[15] | 陈飞霞,付金栋,韦亚兵,赵石林.纳米氧化铟锡透明隔热涂料的制备及性能表征[J].涂料工业,2004(02):48-51. |
[16] | 段学臣;杨向萍 .新材料ITO薄膜的应用和发展[J].稀有金属与硬质合金,1999,138:59-61. |
[17] | 刘世友 .铟锡氧化物薄膜的生产现状与应用[J].材料科学与工程,1997,17(02):98-100. |
[18] | 孙良彦;刘正绣.常温振荡式CO气敏元件的研制[J].传感器技术,1995(01):10-13. |
[19] | 陈猛;白雪冬;闻立时 等.In2O3:Sn (ITO) 薄膜的光学特性研究[J].金属学报,1999,35(09):934-938. |
[20] | 马瑾,李淑英,马洪磊,赵俊卿,叶丽娜.有机薄膜衬底ITO透明导电膜的制备及光电特性的研究[J].太阳能学报,1998(01):0. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分:
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%