纳米氧化镧对电铸电极材料抗电蚀性的影响

稀土, 2006, 27(3): 20-64. doi: 10.3969/j.issn.1004-0277.2006.03.005

纳米氧化镧对电铸电极材料抗电蚀性的影响

明平美 ^1, , 朱荻 ^2, , 曾永彬 ^3, , 朱健 ^4, , 贾世星 ^5,

1.南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016;河南理工大学,河南,焦作,454000

2.南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016

3.南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016

4.南京电子器件研究所,江苏,南京,210016

5.南京电子器件研究所,江苏,南京,210016

基金项目: 江苏省自然科学基金(BK2002206)

关键词：电铸 , 抗电蚀性 , 纳米氧化镧 , 稀土

Influence of Nanometer La2O3 on Electrical Erosion Resistance of Electroformed Electrode Materials

增强工具电极材料的耐电蚀能力,降低电极损耗是微细电火花加工技术可靠、稳定且高效制造高深宽比微结构和器件的研究关键之一.选用纳米量级稀土氧化物-氧化镧为电铸基液添加剂制备了微工具铜电极材料,探讨了它的作用机理,分析了电铸铸层的微观形貌,并实验研究了纳米氧化镧添加剂对电铸电极材料抗电蚀性能的影响,优选了电沉积工艺参数.结果表明:添加适量纳米氧化镧添加剂并在适当电沉积条件下,电铸铜电极材料表现出较强的抗电蚀能力,且综合机械性能优异.

参考文献

[1]	Tai Ran Hsu.MEMS & Microsystems-Design andManufacture[M].北京:机械工业出版社,2004
[2]	Takahata K;Shibaike N;Guckel H.A novel microelectro-discharge machining method using electrodes fabricated by the LIGA process[A].USA:Institute of Electrical and Electionics Engineers InC,1999:238-243.
[3]	K. Takahata;N. Shibaike;H. Guckel .High-aspect-ratio WC-Co microstructure produced by the combination of LIGA and micro-EDM[J].Microsystem technologies,2000(5):175-178.
[4]	H. S. Lim;Y. S. Wong;M. Rahman .A study on the machining of high-aspect ratio micro-structures using micro-EDM[J].Journal of Materials Processing Technology,2003(1/3):318-325.
[5]	刘敏娜,高德淑,李朝晖,雷钢铁.稀土氧化物对镀铬溶液性能的影响[J].湘潭大学自然科学学报,2000(04):65-67.
[6]	北京市<金属切割理论与实践>编委会.电火花加工[M].北京:北京出版社,1980

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