Ag、A1掺杂对ZnO薄膜结构和光学性能的影响

兵器材料科学与工程 , 2008, 31(5): 10-13. doi: 10.3969/j.issn.1004-244X.2008.05.003

Ag、A1掺杂对ZnO薄膜结构和光学性能的影响

秦秀娟 ^1, , 王佳宁 ^2, , 卜立敏 ^3, , 孙丽 ^4, , 孟惠民 ^5, , 刘日平 ^6,

1.北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083;燕山大学环境与化学工程学院,河北,秦皇岛,066004

2.燕山大学环境与化学工程学院,河北,秦皇岛,066004

3.燕山大学环境与化学工程学院,河北,秦皇岛,066004

4.燕山大学环境与化学工程学院,河北,秦皇岛,066004

5.北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083

6.燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室,河北,秦皇岛,066004

基金项目: 河北省社会科学基金(2005309) 国家自然科学基金(50325103)

关键词：掺杂ZnO薄膜 , 溶胶—凝胶法 , 结构特性 , 光学特性

Effect of Ag and A1 doping on structure and optical properties of ZnO thin fllms

采用两种溶胶一凝胶工艺在普通玻璃基片上制备Ag:znO和AI:ZnO薄膜,通过XRD、UV-Vis吸收谱等分析方法,研究掺杂Ag和Al对半导体ZnO薄膜的组织结构和光学性能的影响.分析表明:掺杂Ag和Al对ZnO薄膜结构的影响因成胶工艺不同而有差异.但掺杂离子对ZnO薄膜光学性能的影响结论是一致的.即Al3+离子掺杂显著减小了晶粒尺寸,薄膜禁带宽度增大,紫外一可见光吸收边出现蓝移.Ag+离子掺杂增大了晶粒尺寸,薄膜禁带宽度减小,紫外一可见光吸收边出现红移.

参考文献

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