偏压对MPCVD金刚石薄膜织构生长的影响

1.上海大学,材料科学与工程学院,上海,201800

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基金项目: 上海市自然科学基金(915211115)

Effect of bias on texture growth of MPCVD diamond films

通过偏压微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD) 成功地在Si(100)上生长出具有[100]织构的金刚石薄膜.阐述了实验过程,讨论了偏压对 [100]织构金刚石薄膜成核与生长条件的影响,偏压有助于成核密度的提高和有利于[100 ]织构生长.采用SEM、Raman光谱等对所得样品进行了表征.

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