Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜

材料科学与工艺, 2002, 10(1): 107-112. doi: 10.3969/j.issn.1005-0299.2002.01.027

Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜

侯识华 ^1, , 宋世庚 ^2, , 郑应智 ^3, , 马远新 ^4, , 郑毓峰 ^5,

1.中国科学院,新疆物理研究所,新疆维吾尔自治区,乌鲁木齐,830011

2.中国科学院,新疆物理研究所,新疆维吾尔自治区,乌鲁木齐,830011

3.中国科学院,新疆物理研究所,新疆维吾尔自治区,乌鲁木齐,830011

4.新疆医科大学基础部,新疆维吾尔自治区,乌鲁木齐,830054

5.新疆大学物理系,新疆维吾尔自治区,乌鲁木齐,830046

基金项目: 国家自然科学基金(19702016)

关键词： Sol-Gel法 , PLZT , 铁电薄膜

Preparation of PLZT-based ferroelectric thin films by Sol-Gel method

介绍了Sol-Gel法,并对近年来Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜材料的有关研究进行了分析和总结,详细介绍了Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜材料的各种原料及工艺流程.

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