CVI反应器气体流动可视化发烟系统

航空材料学报, 2000, 20(2): 46-54. doi: 10.3969/j.issn.1005-5053.2000.02.008

CVI反应器气体流动可视化发烟系统

肖鹏 ^1, , 徐永东 ^2, , 张立同 ^3, , 成来飞 ^4,

1.西北工业大学凝固技术国家重点实验室,西安,710072

2.西北工业大学凝固技术国家重点实验室,西安,710072

3.西北工业大学凝固技术国家重点实验室,西安,710072

4.西北工业大学凝固技术国家重点实验室,西安,710072

基金项目: 中国科学院资助项目(59772031)

关键词：流动显示 , 模拟 , CVI反应器

A smoke generator for use in fluid flow visualization in CVI reactors

CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响.本文介绍了一种基于TiCl4与H2O反应产生TiO2烟雾而设计的发烟系统,能使模拟CVI反应器内复杂的与不可观察的气体流动现象可视化.该系统结构简单,可操作性强,形成的烟流总流量与密度可调且长时间可视、均匀.流场照片表明其发烟效果很好,能满足CVI反应器内气体流场的显示研究.

参考文献

[1]	孟广耀.化学气相淀积与无机新材料[M].北京:科学出版社,1984:25.
[2]	梅尔兹科奇W.流动显示[M].北京:科学出版社,1991:1-77.
[3]	VISSER E P;KLEIJN C R;GOVERS A M et al.Return flows in horizontal MOCVD reactors stodied with the use of TiO2 particle injection and numerical calculations[J].Journal of Crystal Growth,1989,94:929-946.
[4]	WANG C A;GROVES S H;PALMATEER S C .Flow visualization studies for optimization of OMVPE reactor design[J].Journal of Crystal Growth,1986,77:136-143.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网

CVI反应器气体流动可视化发烟系统

A smoke generator for use in fluid flow visualization in CVI reactors

参考文献