本文采用磁控溅射镀膜技术，制备NdFeB、TbFe单层及TbFe/NdFeB复合薄膜。通过设计正交试验，优化溅射工艺参数。采用振动样品磁强仪、X射线衍射仪对不同热处理温度处理的NdFeB薄膜的磁学性能、晶体结构进行了研究，并采用电容位移测量法对TbFe薄膜和TbFe/NdFeB复合薄膜的磁致伸缩系数进行测量。研究结果表明，NdFeB薄膜和TbFe薄膜为面内易磁化方向，在低于400℃温度下真空热处理，薄膜保持非晶态，显现较好的软磁性能。与TbFe薄膜复合，可以大大降低薄膜的矫顽力，其低场磁致伸缩性能优于TbFe单层薄膜，这为提高TbFe薄膜的低场磁致伸缩性能的研究提供了一条新途径。
参考文献
| [1] | Quandt E .[J].Journal of Applied Physics,1994,76(10):7000-7004. |
| [2] | Prados C.;Panagiotopoulus I. .High magnetostriction in low applied magnetic fields in amorphous Tb-Fe (hard)/Fe-B (soft) multilayers[J].IEEE Transactions on Magnetics,1997(5):3712-3714. |
| [3] | Quandt E.;Lord DG.;Faunce CA.;Ludwig A. .Magnetic properties and microstructure of giant magnetostrictive TbFe/FeCo multilayers[J].Journal of Applied Physics,1998(11 Pt.2):7267-7269. |
| [4] | Klokholm E .[J].IEEE Transactions on Magnetics,1976,12(02):819-822. |
| [5] | 赵强 .[J].功能材料,1999,30(02):150-154. |
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