FeSiAl合金薄膜电感的研制与研究

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Development of Thin Fe-Si-Al Alloy Film Inductor

本文采用DC直流溅射的方法研制了FeSiAl合金薄膜电感，并探讨了输入功率、靶与基板间距离等溅射成形条件及成膜速率的关系及其对薄膜电感性能的影响，同时还分析了不同状态下的FeSiAl合金薄膜的结构，讨论了产生DO3超结构的最佳工艺条件。

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