Cu层宽度对弯曲型三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜应力阻抗效应的影响

金属功能材料, 2005, 12(3): 9-12. doi: 10.3969/j.issn.1005-8192.2005.03.003

Cu层宽度对弯曲型三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜应力阻抗效应的影响

陈吉安 ^1, , 张亚民 ^2, , 赵晓昱 ^3, , 周勇 ^4, , 周志敏 ^5, , 王明军 ^6, , 高孝裕 ^7,

1.上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030

2.上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030

3.上海工程技术大学汽车工程学院,上海,200336

4.上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030

5.上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030

6.上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030

7.上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030

基金项目: 国家自然科学基金(50275096) 上海市纳米科技专项基金(0215nm1040252hm014)

关键词：应力阻抗 , FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB , 三明治薄膜 , 弯曲型结构 , 微细加工

Stress- impedance Effect in Sandwich FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB Films with a Meander line Structure

基于MEMS微细加工工艺,利用磁控溅射方法在Si基片上制备了不同Cu层宽度弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了Cu层宽度对多层膜的应力阻抗效应的影响.结果表明,弯曲型三明治结构多层膜的应力阻抗(SJ)效应随Cu层宽度的变化有明显的变化,在频率5MHz、基片自由端在y轴方向偏移的距离h为1500μm时,当Cu层宽度为0.4mm时,应力阻抗效应达-25%左右.

参考文献

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