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采用微波烧结法制备了MoSi2和10vol% SiC/MoSi2纳米复合陶瓷.通过SiC预加热体的混合式加热法和合理的保温结构设计,实现了MoSi2低温阶段的快速升温,提高了温度均匀性.密度和力学性能测试结果表明,1450℃保温60 min烧结工艺下,MoSi2试样的相对密度达到93.4%,断裂韧度4.5 MPa·ml/2,维氏硬度为10.53 GPa,弯曲强度为186 MPa.10vol% SiC/MoSi2试样尽管相对密度下降为90.3%,但各项力学性能均优于MoSi2试样.相比1650℃热压烧结,微波烧结温度降低了200℃,MoSi2和SiC/MoSi2试样致密性有所下降,但力学性能有较大提高,尤其是MoSi2试样.断口扫描分析表明,微波烧结试样相对热压烧结试样基体晶粒更细,孔隙细小且分布均匀;SiC/MoSi2试样微波烧结的晶粒细化效果不如MoSi2明显.

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