硅基TFT有源矩阵液晶显示技术

1.中国科学院长春物理研究所,北方液晶工程研究开发中心,长春,130021

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基金项目: 中国科学院资助项目吉林省科技厅科技攻关项目

Si-TFT Active Matrix LCD

介绍了薄膜晶体管(TFT),特别是p-Si(多晶硅)TFT矩阵寻址液晶显示器的工作原理、结构、特点、制作工艺和电学特性, 对器件参数的选择进行了分析.

[1]	Kondo K,Kinugawa K,Konishi N et al., SID′96 Digest, 1996, 81
[2]	Morozumi S SID′83 Digest, 1983, 156
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[4]	Nakazawa K , SID′90 Digest, 1990, 311
[5]	Kwon-Young CHOI Kee-Chan, PARK, Hyoung-Bae CHOI et al. ,J.J.A.P, 1998, 37, 1727
[6]	Young B E,Young R, SID′98 Digest, 1193
[7]	Matsumura M C.-H Oh et al.,SID′98 Digest,1998, 1185.
[8]	Hisashi Ohtani,Jun koyama,Toru Milsuki et al. , Information Display, 1998, 14,11,22
[9]	松本正一编著, 液晶デイスブレイ技术, 产业图书株式会社, 1997

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