外延纳米金刚石膜及其场发射特性

1.中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130021

2.吉林大学,超硬材料国家重点实验室,吉林,长春,130023

3.吉林大学,超硬材料国家重点实验室,吉林,长春,130023

4.吉林大学,超硬材料国家重点实验室,吉林,长春,130023

5.中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130021

6.中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130021

基金项目: 国家自然科学基金(50072029)

Field Emission Properties of Epitaxial Diamond Film

研究了纳米金刚石外延薄膜的制备方法及其场发射特性.采用电泳方法将粒径20nm以下的纳米金刚石微晶沉积到Ti电极衬底上,用热丝CVD方法在纳米金刚石微晶薄膜上再外延生长一层含非晶碳金刚石薄膜.用Raman光谱研究了外延纳米金刚石薄膜的结构并在高真空条件下研究了其场发射特性.

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