真空热预处理在平板摄像管CdSe多层靶面制作中的作用

液晶与显示 , 2003, 18(4): 286-289. doi: 10.3969/j.issn.1007-2780.2003.04.010

真空热预处理在平板摄像管CdSe多层靶面制作中的作用

吕永积 ^1, , 邵佑军 ^2, , 黄庆云 ^3, , 蔡东山 ^4, , 施化芬 ^5,

1.国家广电总局,光电研究所,北京,102206

2.国家广电总局,光电研究所,北京,102206

3.国家广电总局,光电研究所,北京,102206

4.国家广电总局,光电研究所,北京,102206

5.国家广电总局,光电研究所,北京,102206

基金项目: 国家自然科学基金(69971011)

关键词：真空微电子平板摄像管 , 真空热预处理 , 非真空热后处理

Effect of Vacuum Heat Pre-treatment on Properties of CdSe Multilayer Target Used for FPC

为了研制用于真空微电子平板摄像管(FPC)的具有高感光度的CdSe多层光导材料,发展了包括真空热预处理(VHPT)和非真空热后处理(NAHT)在内的新型热处理工艺.重新装配的蒸发设备和具有结晶和氧化功能的新型炉具满足两种热处理工艺并同其他工艺一起可制造出新的高性能的CdSe多层光导靶.实验结果表明,CdSe多层光导靶的灵敏度提高,而清晰度(分辨率)保持不变,介绍了与VHPT工艺有关的实验结果.

参考文献

[1]	Lu Yongji,Liu Guangyi,Shao Youjun, et al. A new type of vacuum microelectronics flat panel camera tube[A].Technical Digest of 9th International Vacuum Microelectronics Conference[C]. Russia, St Petersburg, 1996,585-588.
[2]	Lu Yongji,Liu Guangyi,Shao Youjun, et al. A test of improving upon the target to be used in the flat panel camera tube [A]. Abstract of MRS'1998, Spring Meeting [C]. USA, San Francisco,1998,66.
[3]	吕永积,王群伟,邵佑军,等.平板真空摄像器件[P]. 中国专利:ZL95241185.7,1997-8-9.
[4]	冯进军,丁明清,张甫权,等.钼尖场致发射阵列阴极的性能研究[J]. 液晶与显示, 2002,17(1): 39-43.
[5]	吕永积,邵佑军,刘光诒,等. 在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响[J].液晶与显示,2002,17(3):189-192.

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Effect of Vacuum Heat Pre-treatment on Properties of CdSe Multilayer Target Used for FPC

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