通过分析光刻快门的控制原理及结合液晶光阀的工作原理,对液晶光阀组的控制进行了研究并给出了其控制电路图,该控制系统采用DS75451与门模块对液晶光阀组进行驱动,通过AT89C51单片机控制液晶光阀组的亮暗,实现了对液晶光阀组的控制,起到光刻快门的作用.通过实际光刻试验,液晶光阀组式光刻快门机构可以完成编码图案的控制,通光控制达到了预计的要求,刻出的图案清晰,线条陡直,证明液晶光阀替代穿孔带用于光刻快门是完全可行的.
参考文献
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