不同衬底上氧化锌薄膜的金属有机化学气相沉积方法生长

液晶与显示 , 2009, 24(5): 666-669. doi: 10.3969/j.issn.1007-2780.2009.05.009

不同衬底上氧化锌薄膜的金属有机化学气相沉积方法生长

王超 ^1, , 杨小天 ^2, , 唐魏 ^3, , 赵春雷 ^4, , 杨佳 ^5, , 高晓红 ^6, , 李香萍 ^7, , 高忠民 ^8, , 杜国同 ^9,

1.吉林建筑工程学院,电气与电子信息学院,吉林,长春,130021

2.吉林建筑工程学院,电气与电子信息学院,吉林,长春,13002;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033

3.吉林建筑工程学院,电气与电子信息学院,吉林,长春,130021

4.吉林建筑工程学院,电气与电子信息学院,吉林,长春,130021

5.吉林建筑工程学院,电气与电子信息学院,吉林,长春,130021

6.吉林建筑工程学院,电气与电子信息学院,吉林,长春,130021

7.吉林大学,电子科学与工程学院,吉林,长春,130012

8.吉林大学,化学学院,吉林,长春,130012

9.吉林大学,电子科学与工程学院,吉林,长春,130012

基金项目: NCET(05-0326) Project of Changchun Science and Technology Plans(2006303) NSFC(60576054, 60576043, 60576056, 60876013) Project of Ministry of Construction P. R. China and Department of Education of Jilin Province

关键词：氧化锌 , 薄膜 , 生长 , MOCVD

Growth of ZnO Films on Different Substrates by Metal Organic Chemical Vapor Deposition

Keywords： ZnO , thin films , growth , MOCVD

氧化锌薄膜通过金属有机化学气相沉积方法生长在康宁玻璃与α-蓝宝石衬底上,研究了有关薄膜的生长质量与发光特性.通过X光衍射方法测试研究发现,不仅在以α-蓝宝石为衬底的样品中,同时,在以玻璃为衬底的样品中都发现了氧化锌(0 0 2)方向生长的尖峰,表明生长在两种衬底上的样品都是高度的C向生长.对两种样品的荧光谱研究发现,两者的紫外峰位于374 nm附近,在以α-蓝宝石为衬底的样品中,有深能级发射,但在以玻璃为衬底的样品中没有发现,表明在玻璃衬底上我们生长出了高质量的氧化锌薄膜.通过原子力显微镜,对生长在两种衬底上薄膜的表面形貌做了观察,其晶粒的大小与表面粗糙度有一定的差别,表明二者都是以柱状形式生长的.

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