碳化锗双层膜作为增透保护膜的制备及性能

液晶与显示 , 2010, 25(3): 339-341. doi: 10.3969/j.issn.1007-2780.2010.03.008

碳化锗双层膜作为增透保护膜的制备及性能

胡超权 ^1, , 王笑夷 ^2, , 陈红 ^3, , 郑伟涛 ^4,

1.吉林大学,材料科学与工程学院,吉林,长春,130012

2.中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,光学系统先进制造技术重点实验室,吉林,长春,130033

3.中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,光学系统先进制造技术重点实验室,吉林,长春,130033

4.吉林大学,材料科学与工程学院,吉林,长春,130012

基金项目: 国家自然科学基金项目(50832001) 吉林大学科学前沿与交叉学科创新项目(200903022)

关键词：碳化锗 , ZnS红外窗口 , 增透保护膜

Preparation and Properties for Germanium Carbide Double-Layer Films Used as Antireflection and Protection Coatings

利用磁控溅射方法在ZnS基底上设计并制备了一种Ge1-xCx双层膜.研究发现双面镀Ge1-xCx双层膜后,ZnS基底在8～11.5μm远红外波段的平均透过率提高了9.5%,硬度提高了近3倍,而且该双层膜还具有良好的热稳定性和耐热冲击能力.研究结果表明,此Ge1-xCx双层膜是一种高效的ZnS红外窗口增透保护膜.

参考文献

[1]	Mackowski J M,Cimma B,Pignard R,et al.Rain erosion behavior of germanium carbide films grown on ZnS substrates[J].Proc.SPIE,1992,1760:201-209.
[2]	Kelly C J,Orr J S,Gordon H,et al.Application of germanium carbide in durable muhilayer IR coatings[J].Proc.SPIE,1990,1275:122-134.
[3]	Sah R E,Wild C,Koidl P,et al.Amorphous hydrogenated carbon-germanium films for hard muhiplayer IR optical coatings[J].Proc.SPIE,1990,1275:59-65.
[4]	Mackowski J M,Cimma B.Optical and mechanical behavior of GeC and BP antireflection coating under rain erosion tests[J].Proc.SPIE,1994,2286:552-560.
[5]	Martin P W,Johnston J W,Bennett W D.Properties of reactively-deposited SiC and GeC alloys[J].Proc.SPIE,1990,1323:291-298.

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