光热激励的硅基双层微机械悬臂梁的特性研究及模拟优化

1.西安交通大学,陕西,西安,710049

2.西安交通大学,陕西,西安,710049

3.西安理工大学,陕西,西安,710048

基金项目: 国家自然科学基金(69776037) 陕西省科研项目(97C12)

THE PERFORMANCE AND OPTIMIZATION OF THE SILICON BI- MATERIAL CANTILEVER EXCITED BY LIGHT AND HEAT

本文研究了硅基双层微机械悬臂梁在光热激励下的挠曲特性和频率特性,并利用建立的数学模型进行了模拟和优化.从而为新型传感器的研制提供了理论分析和优化设计的基础.

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