热处理对KTN薄膜结构和形貌的影响

功能材料与器件学报 , 2000, 6(1): 43-49. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2000.01.008

热处理对KTN薄膜结构和形貌的影响

王龙海 ^1, , 罗英军 ^2, , 王世敏 ^3, , 黄桂玉 ^4,

1.湖北大学压电陶瓷技术研究所,湖北,武汉,430062;湖北十堰大学电子工程系,湖北,十堰,442000

2.湖北大学压电陶瓷技术研究所,湖北,武汉,430062;湖北十堰大学电子工程系,湖北,十堰,442000

3.湖北大学压电陶瓷技术研究所,湖北,武汉,430062

4.湖北大学压电陶瓷技术研究所,湖北,武汉,430062

基金项目: 中国科学院资助项目(59302015)

关键词： KTN , Sol-Gel热处理 , 钙钛矿结构 , 表面形貌

EFFECT OF HEAT-TREATMENT ON THE STRUCTURE AND MORPHOLOGY OF KTN THIN FILMS

本文用XRD、SEM等分析手段,对用Sol-Gel法制备的Gel膜在不同热处理条件下处理后的KTN薄膜进行分析.发现热处理的气氛、升降温速率、烧结温度对薄膜的结构和形貌影响很大,并对其的影响进行了分析讨论.在合适的热处理条件下,在SrTiO3(100,111)衬底上制备出了高取向、晶粒大小均匀、排列紧密、纯钙钛矿结构的KTN薄膜.

参考文献

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EFFECT OF HEAT-TREATMENT ON THE STRUCTURE AND MORPHOLOGY OF KTN THIN FILMS

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