热驱动微型泵的实验研究

功能材料与器件学报 , 2000, 6(2): 65-70. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2000.02.001

热驱动微型泵的实验研究

尹执中 ^1, , 徐宁 ^2, , 庞江涛 ^3, , 刘理天 ^4, , 胡桅林 ^5, , 过增元 ^6, , 金观昌 ^7,

1.清华大学工程力学系,北京,100084

2.清华大学工程力学系,北京,100084

3.清华大学微电子所,北京,100084

4.清华大学微电子所,北京,100084

5.清华大学工程力学系,北京,100084

6.清华大学工程力学系,北京,100084

7.清华大学工程力学系,北京,100084

基金项目: 中国科学院资助项目(59995550-2)

关键词：微型机械 , 微型泵 , 传热 , 流动

EXPERIMENTAL STUDY ON THERMAL ACTUATED MICROPUMP

本文对热驱动微型泵在空载和有负载(即泵送液体)情况下的性能进行了实验研究.空载情况下,在所测频率范围内,膜片的振幅随频率减小,但泵腔的体积变化率随频率基本不变;随着加热功率的增加,膜片平衡位置逐渐远离其静止位置,当功率足够大时,膜片平衡位置的变化将减缓,振幅变化也将减缓.实验测定了有负载情况下泵的频率特性,对应于最大流量的频率为3Hz;实测了流量随加热功率的变化,当功率较小时,流量缓慢变化,当功率较大时,流量迅速增大.

参考文献

[1]	SHOJI S;ESASHI M .[J].Journal of Micromechanics and Microengineering,1994,4:157.
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[3]	SHOJI S .[J].Sensors and Actuators A-Physical,1988,14:101.
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[5]	VERPOORTE E M J;VAN DER SCHOOT B H;JEANNERET S et al.[J].Journal of Micromechanics and Microengineering,1994,4:246.
[6]	CARMANA M;MARCO S;SAMITIER J et al.[J].Journal of Micromechanics and Microengineering,1996,6:128.
[7]	庞江涛 .硅基MEMS微流量控制器件及其系统的研究[D].清华大学,1999.
[8]	金观昌.计算机辅助光学测量[M].北京:清华大学出版社,1997
[9]	SRIRAM P;HANAGUD S .[J].Experimental Mechanics,1988,28:340.

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