使用聚酰亚胺通过两次刻蚀制备微马达线圈

1.上海交通大学,化学化工学院,上海,200240;上海交通大学,分析测试中心,上海,200030

2.教育部薄膜与微细技术开放实验室,上海,200030

3.上海交通大学,化学化工学院,上海,200240

4.上海交通大学,化学化工学院,上海,200240

FABRICATION OF A MICRO-MOTOR COIL USING POLYIMIDE BY TWICE ETCHING METHOD

采用感光性聚酰亚胺和高粘附性聚酰亚胺双层刻蚀技术,在基片上制备了微马达线圈的定子绕组.该工艺不仅工艺简单,而且保留聚酰亚胺作为线圈的绝缘层,提高了微马达线圈的绝缘性能和耐热性能,使微马达的整体性能得到了提高.

[1]	FURUKAWA S;MIYAJIMA H;MEHEREGANY M.Tech Digest 7th Int Conf Solid- State Sensors and Actu[C].Yokohama,Japan,1993
[2]	ALLEN M G.Tech Digest 7th Int Conf Solid- State Sensors and Actu[C].Yokohama,Japan,1993
[3]	王渭源;鲍敏杭 .[J].功能材料与器件学报,1996,3:129.
[4]	BECKER E W;EHRFELD W;HAGMANN P et al.[J].Microelectronic Engineering,1986,4:35.
[5]	GUCKEL H;SKROBIS K J;CHRISTENSON T R.[J].Proceeding of IEEE Micro Electromechanical Systems Workshop,1991:74.
[6]	赵小林;宋柏泉;周狄 .[J].微细工技术,1995,3:44.
[7]	路庆华;王宗光.全国高分子材料研讨会论文集[C].,1997

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分