砷化镓扩散长度的变加速电压束感生电流法测量

功能材料与器件学报 , 2000, 6(4): 328-331. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.007

砷化镓扩散长度的变加速电压束感生电流法测量

王万年 ^1, , 李成基 ^2, , 李韫言 ^3,

1.中国科学院半导体研究所,北京,100083

2.中国科学院半导体研究所,北京,100083

3.中国科学院半导体研究所,北京,100083

关键词： GaAs , 扩散长度 , 加速电压 , 电子束感生电流

Determination of diffusion length of GaAs by electron beam acceleration voltage scanning

计算了变加速电压的束感生电流法测定扩散长度理论公式,并用电子探针和扫描电镜测量了各种GaAs材料的扩散长度.

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