YSZ薄膜的制备及应用

功能材料与器件学报 , 2000, 6(4): 372-376. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.019

YSZ薄膜的制备及应用

潘礼庆 ^1, , 王岭 ^2, , 孙加林 ^3, , 洪彦若 ^4,

1.北京科大天宇微电子材料开发有限公司,北京科技大学物理系,北京100083;北京科技大学固体电解质及冶金测试国家专业实验室,北京100083

2.北京科技大学固体电解质及冶金测试国家专业实验室,北京,100083

3.北京科技大学固体电解质及冶金测试国家专业实验室,北京,100083

4.北京科技大学固体电解质及冶金测试国家专业实验室,北京,100083

关键词： YSZ薄膜 , 固体电介质 , 电导率 , 气体传感器 , 溅射镀膜

Preparation and application of YSZ thin films

研究了在NASICON基板上使用溅射法制备的YSZ薄膜的结构、晶相和导电性,实验表明,刚制备的YSZ薄膜经750℃常规退火处理后,薄膜表面致密、均匀、无裂纹,具备良好的导电性能.YSZ/NASICON组合再加上Ba(NO3)2辅助电极构成的NOX气体传感器在450℃下响应迅速(响应时间约为3min)、稳定,能检测到10ppm量级的NO2气体.

参考文献

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