计算机程序控制电晕极化系统

1.国家光电子工艺中心,中国科学院半导体研究所,北京,100083

2.国土资源部岩矿测试技术研究所,北京,100037

3.国家光电子工艺中心,中国科学院半导体研究所,北京,100083

4.北京汇理信息技术公司,北京,100037

5.国家光电子工艺中心,中国科学院半导体研究所,北京,100083

Computer-controlled corona poled system

研制了计算机程序控制的电晕极化系统,系统由 586计算机、加热设备、高压电源、计算机程序控制硬件设备和软件等组成,实现了电晕极化实验自动化.此实验系统使用方便、灵活、稳定,是极化聚合物材料、光波导和调制器件研究中关键工艺设备,可大大提高工作效率、可靠性、重复性和实验的精度.

[1]	Datong Chen;Harold R. Fetterman;Antao Chen .Demonstration of 110 GHz electro-optic polymer modulators[J].Applied physics letters,1997(25/26):3335-3337.
[2]	Yongqiang Shi;Wenshen Wang;James et al.[J].IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics,1996,2(02):289.

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