利用脉冲YAG激光器对砷注入长波碲镉汞样品进行激光退火,分析不同能量密度的激光光束退火所引起的样品表面电学性质的变化.实验表明,激光能量密度越大,激光退火的效果越明显.我们认为要达到理想退火效果,样品表面一薄层需处于近熔化状态,以得到晶格结构的重新组织.
参考文献
| [1] | Beck W A;Anderson J R .[J].Journal of Applied Physics,1987,62:541. |
| [2] | 李向阳 .碲镉汞p-on-n型光伏列阵器件的研究[D].山东大学,1998. |
| [3] | 胡燮荣.[A].:108. |
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