全自动在片直流测试技术对提高GaAs MMIC批量生产成品率的作用

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Application of automatic on-wafer DC test for increasing yield on GaAs MMIC large volume production

成品率高低是批量生产能否进行的关键.采用全自动在片直流测试,对参数进行统计分析,能判断成品率是否正常,并帮助找出影响成品率的原因.本文介绍了行之有效的测试统计和分析技术.

[1]	Trapp O D.Semiconductor Technology Handbook[M].Technology Associates,1982
[2]	Stephan X Bar.GaAs IC Symposium[C].,1993

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