硅微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛,在某些领域已取代传统的传感器.进一步研制小体积高精度的传感器,扩大其应用范围已势在必行.本工作主要从提高传感器的性能角度来分析掩膜版设计中的重要问题,并对设计制作的传感器进行静态测试,取得了满意的实验结果.
参考文献
| [1] | 李乃平.微电子器件工艺[M].武汉:华中理工大学出版社,1995 |
| [2] | 黄炎.弹性薄板理论[M].长沙:国防科技大学出版社,1992 |
| [3] | 袁希光.传感器技术手册[M].北京:国防工业出版社,1992 |
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