通过在放电空间中引入垂直基片方向有梯度的磁场 , 使得利用普通的平面磁控溅射技术可以方便地制备磁性薄膜 .与此同时,磁性薄膜的许多物理性能发生了变化.这种变化还出现于非磁性靶的情况中.本工作对有、无磁场时溅射的过程与结果作了比较,包括自偏压值,薄膜结晶状况,薄膜磁性能的变化等等.通过比较认为,带电粒子在放电空间中的特殊磁场位形中的运动是变化的根本原因 .
参考文献
[1] | 张怀武,刘颖力.一种用于淀积铁磁膜的新型磁控靶研究[J].真空,1993(06):49. |
[2] | KAZUHIRO OUCHI .[J].Journal of Magnetism and Magnetic Materials,1994,134:419-426. |
[3] | Sun DC.;Liu H.;Ming SL.;Lin C.;Jiang EY. .FE-N GRADIENT THIN FILMS PREPARED BY FACING TARGETS SPUTTERING[J].Journal of Physics, D. Applied Physics: A Europhysics Journal,1995(1):4-6. |
[4] | 朱炎;狄国庆;陈亚杰;赵登涛 ..梯度磁场中薄膜厚度的形成机理[J].固体电子学研究与进展 |
[5] | 恽正中;刘履华;莫以豪;郭汉强.半导体和薄膜物理[M].北京:国防工业出版社,1981:184. |
[6] | ZHAO Y D;QIAN Y T;YU W C et al.[J].Thin Solid Films,1996,286:45. |
[7] | 马腾才;胡希伟;陈银华.等离子体物理原理[M].合肥:中国科学技术大学出版社,1988:100. |
[8] | 都有为;罗河烈.磁记录材料[M].北京:电子工业出版社,1992:46. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分:
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%