混合集成型光学拾音器的设计与制作

1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所微电子学分部,上海200233

2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所微电子学分部,上海200233

3.中国科学院上海微系统与信息技术研究所微电子学分部,上海200233

Design and fabrication of a hybrid integrated optical pickup device

通过混合集成型结构光学拾音器的光学设计和芯片设计,制作了包含微光学棱镜、光电探测器和信号放大电路的混合集成型光学拾音器.经过测试,发现有较好的信号输出特性,表明混合集成型光学拾音器已基本研制成功.

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