一种硅微振动角速度传感器

1.东南大学仪器科学与工程系,南京210096

2.河北半导体研究所,石家庄050051

3.东南大学仪器科学与工程系,南京210096

4.东南大学仪器科学与工程系,南京210096

A silicon micro- mechanical vibratory angular rate sensor

介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果.实验结果表明,该角速度传感器实验样机已具有一定的性能,其灵敏度为:3.2mV/(o@s-1);量程为:±500o/s;线性度:1%.

[1]	William C Tang;Tu-cuong H Nguyen;Roger T Howe .[J].Sensors and Actuators,1989,20:25-32.
[2]	郭秀中 .静电力平衡式微型硅加速度计方案分析[J].中国惯性技术学报,1995,3(03):38-43.

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