类金刚石薄膜作为阴极阵列的场发射显示器研制

功能材料与器件学报 , 2002, 8(3): 293-296. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2002.03.018

类金刚石薄膜作为阴极阵列的场发射显示器研制

冯涛 ^1, , 茅东升 ^2, , 李炜 ^3, , 柳襄怀 ^4, , 王曦 ^5, , 张福民 ^6, , 李琼 ^7, , 徐静芳 ^8, , 诸玉坤 ^9,

1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束开放研究实验室,上海200050

2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束开放研究实验室,上海200050

3.中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束开放研究实验室,上海200050

4.中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束开放研究实验室,上海200050

5.中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束开放研究实验室,上海200050

6.中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束开放研究实验室,上海200050

7.华东师范大学电子科学与技术系,上海200062

8.华东师范大学电子科学与技术系,上海200062

9.华东师范大学电子科学与技术系,上海200062

基金项目: 国家自然科学基金(59972039) 国家重点基础研究发展计划(973计划)(G2000067207-2)

关键词：类金刚石薄膜 , 图形化 , 场发射显示器

Fabrication of field emission display using diamond- like- carbon thin film as cathode array

采用真空磁过滤弧沉积(FAD)的方法制备的类金刚石(DLC)薄膜具有良好的场发射性能.通过离子束技术和微细加工技术可以实现DLC薄膜的图形化并能大大提高薄膜的场发射性能.测试表明,DLC薄膜孔洞阵列具有很好的电子场发射性能,阈值电场达到了2.1V/μm,当场强为14.3V/μm时,电流密度达到了1.23mA/cm2.利用图形化的DLC薄膜作为阴极,设计和制作了矩阵选址单色场发射显示器(FED)样管.

参考文献

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