半导体激光器后腔面高反射涂层的研究

功能材料与器件学报 , 2003, 9(3): 343-346. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2003.03.023

半导体激光器后腔面高反射涂层的研究

吴根柱 ^1, , 齐鸣 ^2, , 叙安怀 ^3, , 张永刚 ^4, , 李爱珍 ^5,

1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050

2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050

3.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050

4.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050

5.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050

关键词：后腔面 , 反射率 , 高反射膜 , 半导体激光器

Study on structure of high reflecting coatings for semiconductor laser rear facet

采用金属银(Ag)做为高反射镀膜材料,ZrO2介质膜作为与激光器端面的绝缘层和 Ag保护膜,在激光器后腔面实现了高反射涂层.经激光器光电特性测试表明,该高反射膜系能使激光器输出功率提高 60%,阈值电流减小 20%～50%,并且具有良好的化学稳定性、热稳定性和机械强度,能有效保护半导体激光器后腔面.

参考文献

[1]	Ungar J;Bar-Chaim N;Ury I .High-Power GaAlAs Window Lasers[J].Electronics Letters,1986,22(05):279-280.
[2]	Ettenberg M;Botez D;Gilbert D B et al.The Effect of Facet Mirror Reflectivity on the Spectrum of Single-Mode CW Constricted Double-Heterojuncton Diode Lasers[J].IEEE Journal of Oceanic Engineering,1981,QE17(11):2211-2214.
[3]	丁国庆;李明娟;赵俊英 .端镜面镀膜对具有 DC-PBH 结构的 MQW-LD光电性能的影响[J].半导体技术,1996,4(02):48-52.
[4]	Kume M;Shimizu H;Hamada K et al.Noise Reduction in Single Longitudinal Mode Lasers by High-Reflectivity Coatings[J].IEEE Journal of Oceanic Engineering,1985,QE21(06):707-711.
[5]	杨晓妍 .半导体激光器腔面 SiO、 Au涂层的研究[J].半导体技术,1996,4(02):53-55.
[6]	金原桀;杨希光.薄膜的基本技术[M].北京:科学出版社,1982

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