栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究

功能材料与器件学报 , 2003, 9(4): 423-428. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2003.04.012

栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究

付盛荣 ^1, , 熊斌 ^2, , 车录锋 ^3, , 王跃林 ^4,

1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050

2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050

3.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050

4.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050

基金项目: 国家重点基础研究发展计划(973计划)(G1999033101)

关键词：陀螺 , 电容式 , 检测 , 分辨率

Research on the resolution of fence structure micro- gyroscope under large signal input

主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响.在0.01-200o/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01o/s的输入角速度变化.考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10o/s时,整个系统即无法分辨0.01o/s的输入角速度变化.针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题.

参考文献

[1]	熊斌 .栅结构微机械振动式陀螺[D].中国科学院上海微系统与信息技术研究所,2001.
[2]	Kondo K.;Watanabe K. .A switched-capacitor interface for capacitive sensors with wide dynamic range[J].IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement,1989(3):736-739.
[3]	Mark E Spencer;Mesa Ariz .Oscllator circuit and method for measuring capacitance and small charges in capacitance[P].US:5136262,1992.
[4]	Gerben W de Tong;Gerard C M Meijer;Koert Van der Lingen .A smart capacitive absolute angular- position sensor[J].Sensors and Actuators A-physical,1994,41-42:212-216.
[5]	黄小振 .电容式振动微机械陀螺接口电路的设计、模拟与测试[D].中国科学院上海冶金研究所,2001.

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Research on the resolution of fence structure micro- gyroscope under large signal input

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