以ZnO纳米粉(平均粒径30nm)为原料,利用水热热压方法制备了ZnO多孔纳米固体,同时用通常的水热法对ZnO纳米粉进行了预处理(预处理ZnO纳米粉).然后,分别以ZnO多孔纳米固体和预处理ZnO纳米粉为原料,制备了厚膜气敏传感器.本征电阻的测试结果表明,这两种厚膜气敏传感器的本征电阻比用未经处理的ZnO纳米粉(以下简称"原料ZnO纳米粉")制备的厚膜气敏传感器大大降低并很快达到稳定状态.有效地改善了器件工作的稳定性.结合对三种传感器的显微结构分析,对出现上述差异的原因进行了讨论.
参考文献
| [1] | Seiyama T;Kato A .A new detector for gaseous components using semiconductor thin film[J].Analytical Chemistry,1962,34:1502-1503. |
| [2] | 李健,李海兰,田野,宋淑芳.掺杂和热处理对纳米ZnO薄膜气敏特性影响[J].传感器技术,2002(03):61-64. |
| [3] | 王林,张覃轶,祝柏林,王爱华,谢长生.激光烧结纳米ZnO气敏传感器制备及其气敏特性研究[J].传感技术学报,2003(04):491-494. |
| [4] | 张耀华;李民强 .热处理对SnO2胶体薄膜结构和气敏性能的影响[J].功能材料与器件学报,1997,3(03):203-207. |
| [5] | Kwon TH.;Ryu JY.;Choi HH.;Park SH. .Zinc oxide thin film doped with Al2O3, TiO2 and V2O5 as sensitive sensor for trimethylamine gas[J].Sensors and Actuators, B. Chemical,1998(2):75-79. |
| [6] | Dayan N J;Sainkar S R;Karekar R N et al.Formulation and characerization of ZnO: Sb thick-film gas sensors[J].Thin Solid Films,1998,325:254-258. |
| [7] | 刘秀琳,徐红燕,余丽丽,李梅,王成建,崔得良,蒋民华.ZnO纳米颗粒的自组装及多孔纳米固体的研制[J].科学通报,2004(23):2410-2415. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%