基于玻璃-PDMS复合结构的微型毛细管被动阀

功能材料与器件学报 , 2005, 11(3): 338-342. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.016

基于玻璃-PDMS复合结构的微型毛细管被动阀

牛志强 ^1, , 贾晓宇 ^2, , 李建华 ^3, , 张卫平 ^4, , 陈文元 ^5,

1.上海交通大学微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030

2.上海交通大学微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030

3.上海交通大学微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030

4.上海交通大学微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030

5.上海交通大学微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030

关键词：微阀 , 憎水区 , PDMS , 微流控芯片

A simple-fabricated passive microvalve using rapid prototyping of glass and PDMS(polydimethylsiloxane)

微阀是微流控系统中起控制限流的重要组成器件.研究的微阀是一种基于微机械加工技术的无活动部件的单向被动阀,其利用通道表面张力的变化产生阻流作用,起到阀的作用.讨论了被动阀的工作机理,利用快速制备原型技术制作微阀,同时在玻璃表面制作憎水薄膜,将玻璃与PDMS基底贴合并施加一定的压力,即可实现微阀的简单封装.取去离子水进行测试,微阀可以成功的停住液流,最大可以产生1kPa的压力降.阀的操作模式试验表明,微阀适合于应用在低压、一次性使用的场合.

参考文献

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