虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示,虚拟运行的基础是器件动态模型.首先分析了微泵的静态模型.以有限元分析数据为起点,获得了膜片静态模型.随后给出了阀片的静态模型,得到变形解析表达式且只包含压力变化量.然后以静态模型为基础,从分析微泵运行机制入手,从并不充分的实验数据中得到微泵的动态运行规律.最后基于上述动态模型实现了微泵的虚拟运行,对照实测实验结果,它具有较高的精度.在虚拟环境中可以在线看到虚拟运行状态的相应变化,最终达到了在设计参数和器件运行之间建立直接联系的目标.
参考文献
[1] | 李亚威,赵新,任亮,卢桂章.基于专家系统技术的MEMS虚拟工艺库[J].信息与控制,2004(01):52-55,60. |
[2] | 赵新,李亚威,任亮,卢桂章.虚拟MEMS加工工艺的定义、关键技术与实现框架[J].高技术通讯,2004(06):65-69. |
[3] | Xin zhao;Gui-zhang Lu;Xiang-Dong AN.Virtual operations of two typical MEMS devices--Micromotor and Micropump[A].,1999:54-59. |
[4] | 王沫然,李志信.基于MEMS的微泵研究进展[J].传感器技术,2002(06):59-61. |
[5] | 庞江涛;战长青;谭智敏 等.铝硅双金属驱动膜片形变方向控制及其结构参数的优化[J].功能材料与器件学报,1998,4(02):95-100. |
[6] | 尹执中,徐宁,庞江涛,刘理天,胡桅林,过增元,金观昌.热驱动微型泵的实验研究[J].功能材料与器件学报,2000(02):65-70. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分:
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%