化学水浴法制备ZnS薄膜光学性能

功能材料与器件学报 , 2007, 13(3): 237-240. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2007.03.009

化学水浴法制备ZnS薄膜光学性能

王应民 ^1, , 杜楠 ^2, , 孙云 ^3, , 张萌 ^4, , 蔡莉 ^5, , 李禾 ^6, , 程国安 ^7, , 徐飞 ^8,

1.南开大学信息技术科学学院,天津,300071;南昌航空工业学院材料科学与工程学院,南昌,330034;天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,天津,300071

2.南昌航空工业学院材料科学与工程学院,南昌,330034

3.南开大学信息技术科学学院,天津,300071;天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,天津,300071

4.南昌大学材料科学与工程学院,南昌,330047

5.南昌航空工业学院材料科学与工程学院,南昌,330034

6.南昌航空工业学院材料科学与工程学院,南昌,330034

7.北京师范大学材料系,北京,100871

8.南昌大学材料科学与工程学院,南昌,330047

基金项目: 江西省材料科学与工程中心资助项目(ZX200401007) 江西省教育厅科研项目(DB200501107) 南昌航空工业学院博士基金

关键词：化学水浴沉积法 , ZnS薄膜 , 消光系数 , 禁带宽度

Optical properties of ZnS films prepared by chemical bath deposition

利用薄膜分析系统测量不同沉积时间制备的ZnS薄膜透射谱,通过分析薄膜透射谱,来确定ZnS薄膜光学常数和禁带宽度.实验结果表明,在线性生长阶段,薄膜的沉积速率大约为1 nm/min,具有很好的线性关系,沉积0.5 h的ZnS薄膜在可见光范围内光透过率为82%左右.

参考文献

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