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用柠檬酸盐溶液浸渍沉积法在腐蚀铝箔上制备出SrTiO3-Al2O3复合氧化膜,研究了处理液中Ti和Sr离子浓度与柠檬酸含量、浸渍处理时间、退火温度以及退火时间对铝箔比容的影响.实验结果表明最佳工艺参数为:处理液中Ti和Sr离子浓度分别为3×10-3mol/L,浸渍时间为10分钟,退火温度在550℃、退火时间为1小时.另外,实验结果也表明,处理液中柠檬酸含量对比容的影响不大.使用该工艺,可使腐蚀铝箔的比容提高15%.该复合膜有希望用作电解电容器的电介质.

参考文献

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