利用退火的碳纳米管与金属接触特性的改善

功能材料与器件学报 , 2008, 14(1): 227-230. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.051

利用退火的碳纳米管与金属接触特性的改善

谭苗苗 ^1, , 叶雄英 ^2, , 王晓浩 ^3, , 周兆英 ^4,

1.精密测试技术及仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学系,微米纳米技术研究中心,北京,100084

2.精密测试技术及仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学系,微米纳米技术研究中心,北京,100084

3.精密测试技术及仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学系,微米纳米技术研究中心,北京,100084

4.精密测试技术及仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学系,微米纳米技术研究中心,北京,100084

基金项目: 教育部高等学校博士学科点专项科研基金(20040003065) 国家自然科学基金(50675118;50375083)

关键词：介电电泳 , 接触电阻 , 退火

Improving contact of CNT - metal by annealing

碳纳米管与金属电极间的接触特性是提高纳米器件性能的重要因素.本文采用介电电泳在金属对电极上组装碳纳米管,形成金属-碳纳米管-金属结构.将样品分别在200℃、300℃、400℃下恒温退火1h后自然冷却.通过测量样片的伏安曲线,根据曲线线性度和斜率来评价退火前后的接触状态.实验表明,在三种温度下退火,接触电阻均有不同程度的减小.但一段时间间隔后,电阻又会增加.在本次实验时间范围内,其接触电阻均小于退火前.样片在300℃下分别退火30min、60min、90min后比较其电阻的大小,发现电阻随着退火时间的延长而逐渐减小.

参考文献

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[6]	谭苗苗,叶雄英,王晓浩,周兆英.利用DEP和流体驱动的碳纳米管组装研究[J].传感技术学报,2006(05):2030-2033.

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