设计和制作了一种双轴微磁通门传感器.这种微型传感器为螺线管型,磁芯设计为矩形环状闭合结构,磁芯每条边上均绕有激励线圈和检测线圈,保证传感器能够同时检测X轴和Y轴两个方向上的弱磁场.采用了MEMS技术制作微型传感器,其中磁芯用电镀的方法获得,材料为Ni0.8Fe0.2坡莫合金,厚度51μm.制作出的微型传感器的尺寸为7×7mm2,单元内部最小线宽为50μm.检测了线圈的电气导通性,测得电阻值为110欧姆.该微型传感器能够检测弱磁场,因此可用于航天、医学和军事等领域.
参考文献
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