复杂微机械系统由多个微机械零件装配而成,与传统金属切削加工技术相同,微机械加工也存在公差,特别是在微机械零件之间存在装配关系时,合理给出零件之间的公差尤其重要.由于微机械加工技术不同于传统金属切削加工技术,其加工公差的确定与标注也不同于传统工艺.本文对基于LIGA(准LIGA)工艺的微机械零件公差问题进行研究.文中分析了采用LIGA(准LIGA)工艺进行加工的过程中,零件存在加工误差的环节和原因、加工误差产生的规律,以及在特定加工条件下的误差范围,在此基础上,给出了微机械零件尺寸的确定方法.
参考文献
| [1] | 梁国栋;宋孟然.画法几何及工程制图[M].北京:机械工业出版社,2003 |
| [2] | 刘小岗,施坤林,牛兰杰,赵旭,王发林.有限元法在MEMS安全系统仿真中的应用[J].探测与控制学报,2006(01):14-16. |
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