基于AFM力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法

1.天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072

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基金项目: 国家重点基础研究发展计划(973计划)(51326020102)

Nondestructive measurement of nanobeam thickness based on AFM force curve

本文阐述了基于原子力显微镜(AFM)的弯曲测试测量纳米梁厚度的理论和方法,并界定了基于AFM的厚度测量方法的适用条件,对基于AFM的厚度测量的两个典型应用进行了介绍.对硅纳米梁进行了厚度测量,并进行了重复性实验,梁的平均测量度为160.36nm.

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