论文将微分干涉显微系统和偏振光相位偏移干涉技术相结合,实现微观流体温度场参数的测量.在介绍微分干涉显微测量原理的基础上,分析了光学系统的误差源,表明移相器的线性误差是影响测量结果的主要误差源;移相器的线性误差为1度,引起折射率误差为2×10-5,由此项误差引起的温度测量误差为0.3℃.在实验测量中,根据相位差与折射率的关系,通过计算得到微流体的温度场变化,实验结果与理论值相符合.
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